Автор: Л. А. Сейдман
Название: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Категория: Наука, Образование/Техническая литература
Издательство: Техносфера
ISBN: Техносфера
Год выпуска: 2010
Серия: Мир материалов и технологий (Техносфера)
Тип: book
Описание: Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной
Доступна для скачивания после оплаты
