Книга "Ионно-плазменная обработка материалов" - Аскер Кушхов

Автор: Аскер Кушхов

Название: Ионно-плазменная обработка материалов

Категория: Наука, Образование/Техническая литература

Издательство: МИСиС

Год выпуска: 2008

Тип: book

Описание: В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процес

Доступна для скачивания после оплаты