Автор: Аскер Кушхов
Название: Ионно-плазменная обработка материалов
Категория: Наука, Образование/Техническая литература
Издательство: МИСиС
Год выпуска: 2008
Тип: book
Описание: В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процес
Доступна для скачивания после оплаты