Автор: Игорь Житяев
Название: Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Категория: Детские книги/Учебная литература
Издательство: Южный Федеральный Университет
ISBN: Южный Федеральный Университет
Тип: book
Описание: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллиза
Доступна для скачивания после оплаты