Автор: Дмитрий Крутогин
Название: Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Категория: Наука, Образование/Педагогика
Издательство: МИСиС
Год выпуска: 2015
Тип: book
Описание: В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса
Доступна для скачивания после оплаты