Автор: Наталья Макушина
Название: Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Категория: Детские книги/Учебная литература
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
ISBN: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год выпуска: 2006
Тип: book
Описание: Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевы
Доступна для скачивания после оплаты